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气膜结构对长光栅刻制气浮平台气膜特性的影响
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国家自然科学基金项目(50775043);广东省自然科学基金项目(S2013010013385);岭南师范学院校级青年基金项目(QL1403)


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    摘要:

    为满足长光栅刻制气浮平台的设计要求,通过建立气浮导轨上气膜面的有限元模型,以承载能力、耗气量及流场“死区”速度作为性能指标,分析不同的节流器和均压槽形式对气浮导轨气膜特性的影响。结果表明:不同的导轨结构会造成压力场特性发生变化,进而影响气膜承载力、死区速度及耗气量;3×3节流器王字型均压槽的结构形式能有效提高承载能力,消除速度死区,且耗气量未明显增加,该结构能满足长光栅刻制对气浮平台长时间工作的要求。

    Abstract:

    In order to meet the design requirements of airbearing table of large stroke raster engraving,the finite element model of gas film was established,and the effects on the gas film characteristics of the airbearings by different layouts of restrictors and pressure groove structures were analyzed with load capacity,gas consumption,and dead zone velocity as the main indexes.The results reveal that the different airbearing structures will cause various pressure characteristics,which will impact the load capacity,gas consumption and dead zone velocity.The structure of 3×3 restrictor and Wangshaped pressure groove can improve the load capacity,eliminate dead zone velocity of the airbearings and increase gas consumption slightly,it can meet the long time working requirements of airbearing table for large stroke raster engraving.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

莫德云,马 平,弓满锋.气膜结构对长光栅刻制气浮平台气膜特性的影响[J].润滑与密封,2016,41(3):101-106.
.[J]. Lubrication Engineering,2016,41(3):101-106.

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  • 在线发布日期: 2016-05-05
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